你知道鍍鋅風管制造商的類型嗎?以下列出了以下類型。
鍍鋅風管制造商。
(1)一般排氣:機器發熱,產生無害物質或高溫氣體,但考慮到潔凈室空調和過濾設備的負荷,廢氣用一般風車排入大氣環境,無需處理。注:GEX選用鍍鋅螺旋風管,HEX選用SUS304酸排(SEX),堿排(AEX)系統流程。
(2)酸堿排氣:主要來自化學清洗站。清洗晶片時產生的揮發性氣體含有濃煙,刺激呼吸系統。因此,必須用Scrubberubber清洗,然后通過風扇排放到大氣中。
(3)有機溶劑排氣:主要來源于涂膠、顯影工藝和各工序有機溶劑清洗過程中,需要用有機廢氣處理設備處理,然后風扇排入大氣。
(4)堿脫氣:其主要來源是數組工程脫皮過程中使用的脫皮液。廢氣通過冷凝吸收器冷卻廢氣中的去除液,冷凝器吸收處理的廢氣中含有的廢氣濃度會大大降低,然后送到CentralScrubber進行洗滌處理,再由風扇排入大氣。
(5)緊:在潔凈室機臺端風管中,探頭感應氣體濃度過高時,緊急開啟,使生產正常,保持室內環境。